羅茨真空泵與其它類型的真空泵相比較，有如下優點：

1)在很寬的壓力范圍內（10?10負二次方Torr)，具有穩定的大抽速，能迅速排出突然放出的氣體，彌補了油封機械泵和擴散泵的不足，很適宜作機械增壓泵之用。在有水封或油封的情況下，能直排大氣抽真空，也適宜作大抽速的粗真空泵。

2)設計先進，結構合理，轉子間及轉于與泵體間均有間隙，互不接觸，不用潤滑，摩擦損失小，可用較低的動力獲得較大的抽速，有顯著的節能效果。

3）轉子有良好的幾何對稱性，工作平穩，能用提高轉速的辦法獲得大抽速，從而做到結構緊湊、體積小、重量輕。羅茨真空泵

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4)泵腔內不發生氣體壓縮，加之運動件之間有間隙，對抽吸氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感，因此可抽出可凝性蒸汽。

5)泵腔內運動件無需用油潤滑，能避免油蒸汽對真空系統的污染，有利于獲得無油真空。

6)無需進排氣閥，結構簡單，噪聲較低，泵腔內運動件互不接觸，不易損壞，維護費用低。

7)啟動快，能在短時間內達到極限真空。

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